A Microsystem Based on Porous Silicon-Glass Anodic Bonding for Gas and Liquid Optical Sensing / LUCA DE STEFANO; KRZYSZTOF MALECKI; FRANCESCO G. DELLA CORTE; MORETTI L; ILARIA REA; LUCIA ROTIROTI AND IVO RENDINA. - In: SENSORS. - ISSN 1424-8220. - 6(2006), p. 680.
Titolo: | A Microsystem Based on Porous Silicon-Glass Anodic Bonding for Gas and Liquid Optical Sensing |
Autori: | |
Data di pubblicazione: | 2006 |
Rivista: | |
Handle: | http://hdl.handle.net/11591/185068 |
Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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